【专利摘要】本发明涉及一种轴承制造方法。该方法是对配置有轴承的腔室内进行减压。由此，油箱内的压力以及腔室内的压力比大气压低，且处于微差压或者无差压的状态。接下来，利用输液泵的动力，将润滑油从油箱内向腔室内提供。由此，将润滑油注入腔室内的轴承。如此一来，能够在维持比大气压低的大致相同的压力的同时，将润滑油从油箱内向腔室内提供。因此，能够抑制在油箱内暂时被减压脱气的润滑油再次溶解气体。并且，由于利用输液泵的驱动力提供润滑油，因此容易控制润滑油的供给量。

　　[0002]以往，在硬盘驱动器等盘驱动装置中，装设有使盘旋转的主轴马达。对于该种主轴马达，有低振动性、高旋转精度以及高耐久性等性能要求。为了满足这些性能，有采用流体动压轴承作为主轴马达的轴承的情况。

　　[0003]流体动压轴承具有静止轴承部件、旋转轴承部件以及介于它们之间的润滑油。流体动压轴承工作时，通过设置于静止轴承部件或者旋转轴承部件的动压槽使润滑油产生动压。其结果是，旋转轴承部件相对于静止轴承部件高精度地顺畅地旋转。在这样的流体动压轴承中，如果轴承内部的润滑油中含有气体，则存在由于该气体气泡化等，而使流体动压轴承的性能降低的情况。因此，在流体动压轴承的制造工序中，需要对润滑油进行脱气，并且防止气体混入脱气后的润滑油中。关于流体动压轴承的以往的制造方法，例如在日本专利公开公报号中有记载。

　　[0004]以往，在将润滑油注入流体动压轴承的工序中，使供给源的油箱的压力比配置有轴承的腔室的压力高，利用差压提供润滑油为一般的方法。在这种方法中，由于对供给源的油箱加压，因此存在气体再次溶解到暂时已脱气的润滑油中的担忧。

　　[0005]在日本专利公开公报号所公开的制造方法中，配置有轴承的第一真空腔室的设定压力设定为与容纳有润滑流体的第二真空腔室的设定压力相等或比其略低。然后，打开开闭阀时，第二真空腔室内的润滑流体通过重力流向第一真空腔室侧。但是，在日本专利公开公报号方法中，由于利用重力提供润滑油，因此难于高精度地管理润滑油的供给量。

　　[0006]本发明的目的为提供一种流体动压轴承的制造技术，该制造技术能够抑制气体再次溶解到在油箱内被暂时减压脱气了的润滑油中，并且容易控制润滑油的供给量。

　　[0007]本申请所例示的第一发明所涉及的轴承制造方法将被存留于减压环境下的油箱内的润滑油提供给腔室内的轴承，腔室借助管道以及输液栗与油箱连接。输液栗具有:机壳，其构成润滑油的流路；以及转子，其利用磁悬浮而相对于机壳非接触地旋转，且对润滑油产生朝向腔室侧的压力。轴承制造方法的特征在于，具有:工序a)，在工序a)中，将轴承配置于腔室内；工序b)，在工序b)中，通过对腔室内进行减压，使油箱内的压力和腔室内的压力比大气压低，并且形成如果没有输液栗则在管道内的润滑油不流动的微差压或者无差压的状态；工序C)，工序c)在工序b)之后进行，在工序c)中，利用输液栗的动力，将润滑油从油箱内向腔室内提供，且将润滑油注入轴承；以及工序d)，工序d)在工序c)之后进行，在工序d)中，对腔室内进行加压。

　　[0008]通过以下参照附图对本发明的优选实施方式的详细说明，可以更清楚地理解本发明的上述以及其他特征、要素、步骤、特点和优点。

　　[0014]图6为示出油箱内的压力、腔室内的压力以及吐出开闭阀的开闭状态的历时变化的图表。

　　[0015]图7为示出被配置于腔室内的轴承的截面以及吐油机构的一部分的图。

　　[0019]图1为示出供油设备I的构成的图。该供油设备I为在流体动压轴承90(以下，简称为“轴承90”)的制造工序中给轴承90的静止轴承部件91和旋转轴承部件92之间提供润滑油9的设备。制造完成后的轴承90例如成为装设于硬盘驱动器等盘驱动装置的主轴马达的一部分。如图1所示，供油设备I具有油箱10、腔室20、输液栗30、吐油机构40、减压部50、回压部60以及控制部70。

　　[0020]油箱10为存留供给前的润滑油9的耐压容器。油箱10的内部空间通过后述的减压栗52减压至比大气压低的压力。并且，在油箱10的内部设置有转子11。使转子11旋转时，存留于油箱10内的润滑油9被搅拌。像这样，润滑油9被存留于被减压的油箱10内，并且被搅拌。由此，供给前的润滑油9被脱气。

　　[0021]腔室20为将轴承90容纳于其内部的耐压容器。腔室20具有基底部21以及可以升降的罩部22。在基底部21的上表面，设置有支承轴承90的台座部23。罩部22上升时，腔室20被打开，可以将轴承90搬入或者搬出。另外，降下罩部22时，基底部21和罩部22相互紧密接触，从而关闭腔室20。提供润滑油9时，腔室20的内部空间通过后述的减压栗52减压至比大气压低的压力。

　　[0022]输液栗30设置在连接油箱10和腔室20的管道31上。使输液栗30工作时，存留于油箱10内的润滑油9经由管道31向吐油机构40输送。在本申请中，采用磁悬浮方式的离心栗作为输液栗30。

　　[0023]图2为示出输液栗30的结构的图。如图2所示，输液栗30具有机壳32、转子33以及定子34。机壳32构成润滑油9的流路。S卩，机壳32成为连接油箱10和腔室20的管道31的一部分。转子33被配置于机壳32内。转子33的外周面被设置于其内部的磁铁331磁化。定子34具有定子铁芯341和多个线]对线提供驱动电流时，在定子铁芯341处产生旋转磁场。然后，利用定子铁芯341和磁铁331之间的磁通，转子33在机壳32内浮起并且旋转。如此一来，对机壳32内的润滑油9产生从油箱10向腔室20侧的压力。像这样，在磁悬浮方式的离心栗中，转子33通过磁悬浮而相对于机壳32以非接触的方式旋转。因此，如果输液栗30采用磁悬浮方式的离心栗，则能够降低随着输液栗30的驱动、由于机壳32与转子33的接触而产生粉尘的担忧。因此，能够在抑制润滑油9的污染的同时，向轴承90提供润滑油9。

　　[0025]吐油机构40为对容纳于腔室20内的轴承90吐出润滑油9的机构。图3为吐油机构40的局部剖视图。如图3所示，吐油机构40具有气缸41、注入管部42以及吐出开闭阀43。气缸41被固定于腔室20的罩部22。在气缸41的内部，形成有连接输液栗30和注入管部42之间的润滑油9的流路411。注入管部42为连接于气缸41的下端的针状的管。注入管部42的下端为吐出润滑油9的吐出口 421。吐出口 421被配置于腔室20的内部。

　　[0026]吐出开闭阀43具有配置于气缸41内部的阀芯431。阀芯431根据控制部70的指令进行上下升降。向轴承90提供润滑油9时，使阀芯431上升，打开气缸41内的流路411。如此一来，从输液栗30输送的润滑油9经由气缸41内的流路和注入管部42从吐出口 421吐出。另外，停止提供润滑油9时，降下阀芯431，关闭气缸41内的流路411。

　　[0027]减压部50为对油箱10内部和腔室20的内部进行减压的机构。如图1所示，减压部50具有排气管51、减压栗52、第一开闭阀53、第一压力传感器54以及第二压力传感器55。排气管51具有主管道511、箱侧分支管道512以及腔室侧分支管道513。箱侧分支管道512的排气方向的上游侧的端部与油箱10连接。箱侧分支管道513的排气方向的上游侧的端部与腔室20连接。另外，箱侧分支管道512和腔室分支管道513的排气方向的下游侧的端部与主管道511的排气方向的上游侧的端部连接。并且，主管道511的排气方向的下游侧的端部与减压栗52连接。

　　[0028]第一开闭阀53被设置于腔室侧分支管道513的路径上。在第一开闭阀53关闭的状态下使减压栗52工作时，通过减压栗52的吸引力将油箱10内的气体向外部排出。其结果是，油箱10的内部空间减压至比大气压低的压力。并且，在第一开闭阀53打开的状态下使减压栗52工作时，通过减压栗52的吸引力将油箱10的气体和腔室20内的气体向外部排出。其结果是，油箱10的内部空间和腔室20的内部空间减压至比大气压低的压力。

　　[0029]在该供油设备I中，像这样，通过共同的减压栗52吸引油箱10内的气体和腔室20内的气体这两方。因此，在进行后述的供油处理时，油箱10内的压力和腔室20内的压力容易维持为微差压或者无差压的状态。另外，油箱10的内部在减压栗52工作期间一直被减压。另外，腔室20的内部根据需要通过打开第一开闭阀53进行适时地减压。

　　[0030]第一压力传感器54被设置于箱侧分支管道512的路径上。第一压力传感器54获取反映油箱10内的压力(气压)的检测值。第二压力传感器55被设置于腔室侧分支管道513的路径上的、比第一开闭阀53靠腔室20侧的位置。第二压力传感器55获取反映腔室20内的压力(气压)的检测值。并且，第一压力传感器54和第二压力传感器55将表不该检测值的检测信号传送给控制部70。

　　[0031]回压部60为使被减压的腔室20内的压力再次上升的机构。如图1所示，回压部60具有被连接于腔室20的送气管道61、以及被设置于送气管道61的第二开闭阀62。如果在腔室20内的压力比大气压低的状态下打开第二开闭阀62，则空气从腔室20的外部经由送气管道61向腔室20的内部流入。由此，腔室20内的压力上升至大气压。

　　[0032]控制部70为用于控制供油设备I内的各部分工作的机构。如图1中示意所示，控制部70由计算机构成，该计算机具有CPU等运算处理部71、RAM等存储器72、以及硬盘驱动器等存储部73。存储部73内，安装有用于控制向轴承90提供润滑油9的工作的计算机程序731。

　　[0033]图4为示出控制部70与供油设备I内的各部分的连接构成的框图。如图4所示，控制部70与上述的转子11、输液栗30、吐出开闭阀43、减压栗52、第一开闭阀53、第一压力传感器54、第二压力传感器55以及第二开闭阀62电连接。控制部70将存储部73内的计算机程序731暂时读取至存储器72，且通过运算处理部71根据该计算机程序731进行运算处理，控制上述的各部分的工作。由此，进行后述的润滑油9的供油工作。

　　[0035]接下来，对供油设备I中的润滑油9的供油工作进行说明。图5为示出供油设备I的工作流程的流程图。图6为示出油箱10内的压力、腔室20内的压力以及吐出开闭阀43的开闭状态的历时变化的图表。另外，在初期状态下，吐出开闭阀43、第一开闭阀53以及第二开闭阀62是关闭的。

　　[0036]开始进行润滑油9的供油处理时，首先轴承生产，在第一开闭阀53关闭的状态下，启动减压栗52 (步骤SI)。如果使减压栗52工作，则如图6所示，油箱10内的压力pi减压至比大气压Po低的压力Pa。S卩，油箱10内成为减压环境。油箱10内存留的润滑油9通过转子11的旋转和借助减压栗52减压而脱气。并且，抑制了气体重新溶解到油箱10内存留的润滑油9中。

　　[0037]另外，在进行之后的步骤S2至步骤S13的处理时，继续减压栗52的驱动。

　　[0038]接下来，将轴承90配置于腔室20内(步骤S2)。在步骤S2中，首先，使腔室20的罩部22上升，打开腔室20。然后，将轴承90设置于台座部23上。然后，再次下降罩部22，关闭腔室20 (步骤S3)。如果腔室20被关闭，则腔室20的内部变为封闭空间。

　　[0039]接下来，打开第一开闭阀53 (步骤S4)。这样的线内的压力p2逐渐从大气压Po减压至比大气压Po低的压力Pa。控制部70根据第二压力传感器55的检测信号所表示的检测值，监视腔室20内的压力P2是否降低至与油箱10内的压力pi大致相同的压力Pa(步骤S5)。另外，减压后的压力Pa的优选数值范围为20帕斯卡以下。例如，减压后的压力Pa为10帕斯卡。

　　[0040]不久，腔室20内的压力p2降至压力Pa。由此，油箱10内的压力和腔室20内的压力成为微差压或者无差压状态。因此，成为气体不容易重新溶解到提供给腔室20内的完成脱气的润滑油9中的状态。另外，在本申请中的“微差压或者无差压”是指如果没有输液栗，则即使打开吐出开闭阀，在管道内的润滑油也不流动的压力关系。

　　[0041]腔室20内的压力p2降至压力Pa时，接下来，控制部70使输液栗30启动(步骤S6)。由此，对管道31内的润滑油9产生从油箱10朝向腔室20侧的压力。然后，控制部70打开吐出开闭阀43 (步骤S7)。由此，润滑油9从设置于吐油机构40的注入管部42的末端的吐出口 421吐出。

　　[0042]图7为示出配置于腔室20内的轴承90的截面以及吐油机构40的一部分的图。如图7所示，轴承90具有静止轴承部件91和旋转轴承部件92。在静止轴承部件91和旋转轴承部件92之间，存在应填充润滑油9的轴承间隙93。并且，轴承90在静止轴承部件91和旋转轴承部件92之间，具有连接轴承间隙93的环状且锥形形状的开口部94。在开口部94中的静止轴承部件91和旋转轴承部件92的间隔随着朝向轴承间隙93的外侧而逐渐扩大。

　　[0043]在腔室20关闭的状态下，在容纳于腔室20内的轴承90的开口部94的上侧配置有注入管部42的吐出口 421。因此，在步骤S7中，润滑油9被从吐出口 421朝向轴承90的开口部94吐出。然后，吐出后的润滑油9被遍布整周地保持于轴承90的开口部94。

　　[0044]另外，关于注入管部42，例如使用不锈钢制的中空管部件。中空管部件的内径(内周面的直径)的优选数值范围为0.4_以下。并且，中空管部件的内径的更优选数值范围为0.2mm以下。另外，中空管部件的外径(外周面的直径)为例如0.7mm以下。通过使用这种尺寸的中空管部件，能够有效地朝向轴承90的开口部94吐出润滑油9。

　　[0045]在该供油设备I中，利用输液栗30的动力提供润滑油9。因此，如果将吐出开闭阀43打开固定的时间，能够高精度地得到固定的吐出量。控制部70监视吐出开闭阀43打开后的经过时间t是否达到预先设定的时间Ta(步骤S8)。然后，如果经过时间t达到时间Ta，则关闭吐出开闭阀43 (步骤9)。由此，停止从吐油机构40吐出润滑油9。

　　[0046]像这样，在该供油设备I中，通过将吐出开闭阀43打开固定的时间，从吐出口 421吐出预定量的润滑油9。

　　[0047]然后，控制部70使输液栗30停止(步骤S10)，并且关闭第一开闭阀53(步骤Sll)。由此，停止腔室20内的减压。并且，控制部70打开回压部60的第二开闭阀62 (步骤S12)。这样的线所示，腔室20内的压力p2再次上升至大气压Po。S卩，腔室20内被加压。由此，如图7的箭头A所示，被保持于开口部94的润滑油9从开口部94渗透至轴承间隙93。

　　[0048]润滑油9向轴承间隙93的渗透完成时，使腔室20的罩部22升起。由此，打开腔室20(步骤S13)。然后，从腔室20将轴承90取出，完成对该轴承90的供油处理。

　　[0049]另外，有应注入润滑油9的下一个轴承90时，步骤S13完成后，返回至步骤S2，在腔室20内配置下一个轴承90。然后，重复步骤S3至S13的处理。在此期间，继续减压栗52的驱动。因此，油箱10内的压力一直维持减压状态。

　　[0050]如上所述，在该供油设备I中，维持比大气压低的大致相同的压力的同时，将润滑油9从油箱10内向腔室20提供。因此，抑制气体再次溶解到在油箱10内被暂时减压脱气的润滑油9中，并且能够将润滑油9注入腔室20内的轴承90中。

　　[0051]在以往的供油设备中，如图6中的双点划线L所示那样，使油箱内的压力上升，利用差压提供润滑油是一般的方法。但是，在该供油设备I中，不是利用油箱10和腔室20之间的差压，而是通过输液栗30的驱动力提供润滑油9。因此，容易控制润滑油9的供给量。并且，与利用输液栗30将润滑油9从低压的油箱10提供给高压的腔室20的情况相比，能够抑制输液栗30所需要的动力。

　　[0052]并且，在该供油设备I中，由于不是利用重力提供润滑油9，因此油箱10不需要配置于比腔室20高的位置。油箱10和腔室20的位置关系可以自由地变更。例如，油箱10和腔室20配置于同一高度，从而能够抑制供油设备I的高度尺寸。

　　[0053]并且，在该供油设备I中，吐出开闭阀43在被打开的期间，输液栗30—直驱动。因此，通过吐出开闭阀43的开闭，能够容易地控制润滑油9的吐出量。并且，在打开吐出开闭阀43的期间，还能够抑制润滑油9的逆流以及空气从吐出口 421的混入。

　　[0054]并且，如图3所示，在该供油设备I中，在吐出开闭阀43中的流路411的开闭位置位于腔室20的内部。因此，与该开闭位置位于腔室20的外部的情况相比，从该开闭位置至吐出口 421的流路的长度短。因此，吐出开闭阀43关闭时，能够减少保持于从关闭位置至吐出口 421的流路内的润滑油9的量。如此一来，更能减少空气在吐出前的润滑油9中的溶解量。

　　[0056]以上，虽然对本发明的一实施方式进行了说明，但本发明并不限于上述实施方式。

　　[0057]图8为示出一变形例所涉及的供油动作的流程图。在上述实施方式中，每对一个轴承90完成注入润滑油9时，都使输液栗30停止。与此相对，在图8的例子中，在输液栗30 一直驱动的状态下，对多个轴承90注入润滑油9。

　　[0058]具体地说，在图8的示例中，在腔室20内设置第一个轴承90之前，使输液栗启动(步骤Sa)。然后，将轴承90设置于腔室20内，且对腔室20内进行减压后，打开吐出开闭阀43(步骤S7)。由此，开始进行润滑油9的吐出。接下来，吐出预定量的润滑油9时，关闭吐出开闭阀43 (步骤S9)。由此，停止润滑油9的吐出。接下来，对腔室20内进行加压，使润滑油9渗透至轴承间隙93，从腔室20取出轴承90。

　　[0059]然后，判断是否有应注入润滑油9的下一个轴承90 (步骤Sb)。如果有下一个轴承90时，则返回步骤S2，将下一个轴承90设置于腔室20内。另外，在步骤Sb中，仅在没有下一个轴承90时，停止输液栗30 (步骤Sc)。

　　[0060]像这样，在图8的示例中，使输液栗30 —直驱动，并且反复进行步骤S2至S13的处理。因此，不用按每一个轴承90进行输液栗30的停止以及再驱动，而能够对多个轴承90迅速地提供润滑油9。并且，在吐出开闭阀43被打开期间，输液栗30—直驱动。因此，通过吐出开闭阀43的开闭，能够容易地控制润滑油9的吐出量。并且，在吐出开闭阀43被打开期间，还能够抑制润滑油9的逆流以及空气从吐出口 421混入。

　　[0061]图9为示出另一变形例所涉及的供油动作的流程图。在图9的示例中，在腔室20内设置轴承90之前，使输液栗30以比正常驱动的转速低的低速驱动启动(步骤Sd)。然后，在到腔室20内的减压完成为止的步骤S2至S5之间，使输液栗30低速驱动。接下来，在即将打开吐出开闭阀43之前，将输液栗30从低速驱动切换至正常驱动(步骤Se)。然后，在到润滑油9的吐出完成为止的步骤S7至S9之间，使输液栗30正常驱动。不久，如果完成润滑油9的吐出，则将输液栗30再次从正常驱动切换至低速驱动(步骤Sf)。正常驱动是指为了吐出预先设定的量的润滑油9而指定的输液栗30的驱动状态。

　　[0062]像这样，在图9的示例中，在吐出开闭阀43被打开期间，输液栗30 —直正常驱动。因此，通过开闭吐出开闭阀43，能够容易地控制润滑油9的吐出量。并且，在吐出开闭阀43被打开期间，还能够抑制润滑油9的逆流以及空气从吐出口 421混入。并且，在图9的示例中，在吐出开闭阀43关闭时，使输液栗30低速驱动。由此，能够减小施加于吐出开闭阀43的润滑油9的压力，抑制吐出开闭阀43的损伤。并且，还能够抑制供油设备I的消耗功率。

　　[0063]并且，在上述实施方式中，从吐油机构40吐出润滑油9之后，使腔室20内恢复压力至大气压。但是，恢复压力后的腔室20内的压力不必一定为大气压。例如，从吐油机构40吐出润滑油9之后，腔室20内也可以加压至比大气压高的压力。

　　[0064]并且，在上述实施方式中，为了使油箱10内的压力和腔室20内的压力为微差压或者无差压的状态，采用压力传感器54、55进行压力实测。但是，如果通过减压栗52产生的油箱10内和腔室20内的压力变化可以有再现性的话，则也可以不进行压力实测，而根据减压栗52的驱动时间或者第一开闭阀53的开放时间推定出油箱10内的压力以及腔室20内的压力。

　　[0065]并且，在上述实施方式中，使用共同的减压栗52进行油箱10内的减压以及腔室20内的减压。但是，也可以分别使用不同的减压栗进行油箱10内的减压以及腔室20内的减压。在该情况下，只要根据压力传感器的检测值来控制两个减压栗的吸引力，以使油箱10内的压力和腔室20内的压力成为微差压或者无差压状态即可。

　　[0066]在上述实施方式及变形例中的结构在互相不矛盾的情况下可以适当地组合。

　　[0067]根据上述说明的本发明的优选实施方式可以认为，对本领域技术人员而言不超出本发明的范围和精神的变形和变更是明显的。因此本发明的范围唯一地由本权利要求书决定。

　　1.一种轴承制造方法，所述轴承制造方法将被存留于减压环境下的油箱内的润滑油提供给腔室内的轴承，所述腔室借助管道以及输液栗与所述油箱连接， 所述输液栗具有: 机壳，所述机壳构成所述润滑油的流路；以及 转子，所述转子利用磁悬浮而相对于所述机壳非接触地旋转，且对所述润滑油产生朝向所述腔室侧的压力， 所述轴承制造方法的特征在于，具有: 工序a)，在所述工序a)中，将所述轴承配置于所述腔室内； 工序b)，在所述工序b)中，通过对所述腔室内进行减压，使所述油箱内的压力和所述腔室内的压力比大气压低，并且形成如果没有所述输液栗则在所述管道内的所述润滑油不流动的微差压或者无差压的状态； 工序C)，所述工序c)在所述工序b)之后进行，在所述工序c)中，利用所述输液栗的动力，将所述润滑油从所述油箱内向所述腔室内提供，且将所述润滑油注入所述轴承；以及工序d)，所述工序d)在所述工序c)之后进行，在所述工序d)中，对所述腔室内进行加压。2.根据权利要求1所述的轴承制造方法，其特征在于， 还具有在所述腔室内配置有吐出口的吐油机构， 所述吐油机构具有: 注入管部，所述注入管部具有所述吐出口 ；以及 开闭阀，所述开闭阀位于所述注入管部和所述输液栗之间，且开闭所述润滑油的流路， 所述工序c)具有: 工序Cl)，在所述工序Cl)中，通过使所述输液栗启动，对所述润滑油产生朝向所述吐油机构的压力； 工序c2)，所述工序c2)在所述工序Cl)之后进行，在所述工序c2)中，打开所述开闭阀； 工序c3)，所述工序c3)在所述工序c2)之后进行，在所述工序c3)中，从所述吐出口将预定量的所述润滑油吐出； 工序c4)，所述工序c4)在所述工序c3)之后进行，在所述工序c4)中，关闭所述开闭阀；以及 工序c5)，所述工序c5)在所述工序c4)之后进行，在所述工序c5)中，使所述输液栗停止。3.根据权利要求1所述的轴承制造方法，其特征在于， 还具有在所述腔室内配置有吐出口的吐油机构， 所述吐油机构具有: 注入管部，所述注入管部具有所述吐出口 ；以及 开闭阀，所述开闭阀位于所述注入管部和所述输液栗之间，且开闭所述润滑油的流路， 在使所述输液栗一直驱动的状态下，实施所述工序a)至所述工序d)， 所述工序c)具有: 工序Cl)，在所述工序Cl)中，打开所述开闭阀； 工序c2)，所述工序c2)在所述工序Cl)之后进行，在所述工序c2)中，从所述吐出口将预定量的所述润滑油吐出；以及 工序c3)，所述工序c3)在所述工序c2)之后进行，在所述工序c3)中，关闭所述开闭阀。4.根据权利要求1所述的轴承制造方法，其特征在于， 还具有在所述腔室内配置有吐出口的吐油机构， 所述吐油机构具有: 注入管部，所述注入管部具有所述吐出口 ；以及 开闭阀，所述开闭阀位于所述注入管部和所述输液栗之间，且开闭所述润滑油的流路， 所述输液栗在所述工序a)以及所述工序b)中，进行比正常驱动的转速低的低速驱动， 所述工序c)具有: 工序Cl)，在所述工序Cl)中，所述输液栗从所述低速驱动切换至所述正常驱动； 工序c2)，所述工序c2)在所述工序Cl)之后进行，在所述工序c2)中，打开所述开闭阀； 工序c3)，所述工序c3)在所述工序c2)之后进行，在所述工序c3)中，从所述吐出口将预定量的所述润滑油吐出； 工序c4)，所述工序c4)在所述工序c3)之后进行，在所述工序c4)中，关闭所述开闭阀；以及 工序c5)，所述工序c5)在所述工序c4)之后进行，在所述工序c5)中，所述输液栗从所述正常驱动切换至所述低速驱动。5.根据权利要求1的轴承制造方法，其特征在于， 所述轴承具有静止轴承部件和旋转轴承部件，并且具有锥形形状的开口部，所述开口部连接所述静止轴承部件和所述旋转轴承部件之间的轴承间隙， 在所述工序c)中，所述润滑油被吐出至所述开口部， 在所述工序d)中，所述润滑油通过所述加压，从所述开口部渗透至所述轴承间隙。6.根据权利要求5所述的轴承制造方法，其特征在于， 还具有在所述腔室内配置有吐出口的吐油机构， 所述吐油机构具有: 注入管部，所述注入管部具有所述吐出口 ；以及 开闭阀，所述开闭阀位于所述注入管部和所述输液栗之间，且开闭所述润滑油的流路， 所述工序c)具有: 工序Cl)，在所述工序Cl)中，通过使所述输液栗启动，对所述润滑油产生朝向所述吐油机构的压力； 工序c2)，所述工序c2)在所述工序Cl)之后进行，在所述工序c2)中，打开所述开闭阀； 工序c3)，所述工序c3)在所述工序c2)之后进行，在所述工序c3)中，从所述吐出口将预定量的所述润滑油吐出； 工序c4)，所述工序c4)在所述工序c3)之后进行，在所述工序c4)中，关闭所述开闭阀；以及工序c5)，所述工序c5)在所述工序c4)之后进行，在所述工序c5)中，使所述输液栗停止。7.根据权利要求5所述的轴承制造方法，其特征在于， 还具有在所述腔室内配置有吐出口的吐油机构， 所述吐油机构具有: 注入管部，所述注入管部具有所述吐出口 ；以及 开闭阀，所述开闭阀位于所述注入管部和所述输液栗之间，且开闭所述润滑油的流路， 在使所述输液栗一直驱动的状态下，实施所述工序a)至所述工序d)， 所述工序c)具有: 工序Cl)，在所述工序Cl)中，打开所述开闭阀； 工序c2)，所述工序c2)在所述工序Cl)之后进行，在所述工序c2)中，从所述吐出口将预定量的所述润滑油吐出；以及 工序c3)，所述工序c3)在所述工序c2)之后进行，在所述工序c3)中，关闭所述开闭阀。8.根据权利要求5所述的轴承制造方法，其特征在于， 还具有在所述腔室内配置有吐出口的吐油机构， 所述吐油机构具有: 注入管部，所述注入管部具有所述吐出口 ；以及 开闭阀，所述开闭阀位于所述注入管部和所述输液栗之间，且开闭所述润滑油的流路， 所述输液栗在所述工序a)以及所述工序b)中，进行比正常驱动的转速低的低速驱动， 所述工序c)具有: 工序Cl)，在所述工序Cl)中，所述输液栗从所述低速驱动切换至所述正常驱动； 工序c2)，所述工序c2)在所述工序Cl)之后进行，在所述工序c2)中，打开所述开闭阀； 工序c3)，所述工序c3)在所述工序c2)之后进行，在所述工序c3)中，从所述吐出口将预定量的所述润滑油吐出； 工序c4)，所述工序c4)在所述工序c3)之后进行，在所述工序c4)中，关闭所述开闭阀；以及 工序c5)，所述工序c5)在所述工序c4)之后进行，在所述工序c5)中，所述输液栗从所述正常驱动切换至所述低速驱动。9.根据权利要求1至8中任一项所述的轴承制造方法，其特征在于， 在所述开闭阀中的所述流路的开闭位置位于所述腔室的内部。10.根据权利要求1至8中任一项所述的轴承制造方法，其特征在于， 所述注入管部由不锈钢制成， 所述注入管部的内周面的直径为0.4mm以下。11.根据权利要求1至8中任一项所述的轴承制造方法，其特征在于， 在所述工序b)中，所述油箱内的气体和所述腔室内的气体使用共同的减压栗吸引。12.根据权利要求1至8中任一项所述的轴承制造方法，其特征在于， 在所述工序b)中，所述腔室内减压至20帕斯卡以下。